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江蘇邑文微電子取得一種改進(jìn)型晶圓傳輸裝置專利，可實時反饋傳輸腔室內(nèi)工作狀態(tài):室內(nèi)微改
金融界2025年5月3日消息，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，江蘇邑文微電子科技有限公司取得一項名為“一種改進(jìn)型晶圓傳輸裝置”的專利，授權(quán)公告號CN222801773U，申請日期為2024年6月
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